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招標(biāo)代理公司（立即查看） 受業(yè)主單位（立即查看） 委托，于2025-10-29在采購與招標(biāo)網(wǎng)發(fā)布 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)　　競爭性磋商公告。現(xiàn)邀請全國供應(yīng)商參與投標(biāo)，有意向的單位請及時(shí)聯(lián)系項(xiàng)目聯(lián)系人參與投標(biāo)。 一、項(xiàng)目名稱：反應(yīng)離子刻蝕機(jī)二、項(xiàng)目編號：S（略）三、采（略）數(shù)量及主要性能參數(shù)要求反應(yīng)離子刻蝕機(jī)　　1套（一）主要技術(shù)性能指標(biāo)要求1.1刻蝕室：優(yōu)質(zhì)鋁材質(zhì)，自動開蓋結(jié)構(gòu)，腔體內(nèi)徑≥Φ（略）mm×（略）mm1.2極限真空≤2.0×（略）-4Pa；1.3設(shè)備升壓率≤0.（略）Pa.LS；1.4偏壓電極尺寸≥Φ（略）mm；1.5射頻電源功率≥（略）W，帶自動匹配；1.6（略）：SF6、CF4、CHF3、O2、Ar、N2；1.7壓力控制范圍：0.5Pa～5.0Pa，精度±0.（略）Pa；1.8刻蝕不均勻性：Φ6英寸≤±3.5%（去除邊緣5mm）；1.9刻蝕速率：Si≥（略）nmmin，SiO2≥（略）nmmin；1.（略）電極控溫范圍：0℃～（略）℃；（二）主要配置要求2.1刻蝕工藝腔及機(jī)架，1套2.2前級渦旋干泵：帶防腐涂層，峰值抽速（略）m3h；極限真空0.（略）mbar，靜態(tài)密封性≤1×（略）-6mbarls,1臺2.3高真空（略）子泵，抽速≥（略）LS，1臺2.4高真空電動插板閥，Φ（略）mm2.5全量程復(fù)合真空計(jì)，1套2.6（略）壓力計(jì)，1套2.7工藝薄膜硅，1個(gè)2.8電容耦合電極，1套2.9電容耦合偏壓射頻電源及配套匹配器≥（略）W，功率精度滿足設(shè)定值的1%或額定功率的0.1%，1套2.（略）質(zhì)量流量控制器，SF6、CHF3、CF4、O2、Ar、N2各1臺，線性精度滿足±0.5%F.S；重復(fù)性滿足±0.2%F.S；2.（略），1套（含水機(jī)）2.（略），1套（含西門子PLC、液晶顯示器、工控機(jī)等）2.（略）控制（略），1套（C#）（三）質(zhì)保期不少于（略）年（驗(yàn)收合格后起算）。五、評（略）標(biāo)準(zhǔn)本次磋商采用綜合評（略）法，總（略）為（略），具體內(nèi)容如下：（一）技術(shù)參數(shù)、配置及（略）體綜合性能（略）（（略））1．技術(shù)參數(shù)及配置（（略））以供應(yīng)商提供的能直接反映該產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)的彩頁或產(chǎn)品說明書等作為主要評判依據(jù)，其他情況由磋商小組根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行評判。（1）所提供產(chǎn)品多項(xiàng)不滿足磋商公告要求（偏離），或參數(shù)偏離超出用戶教學(xué)、科研可接受范圍的，經(jīng)磋商小組評審可作為無效響應(yīng)文件。（2）所提供產(chǎn)品不滿足磋商公告要求（偏離）、配置不詳、技術(shù)參數(shù)不明確、缺漏項(xiàng)的，每處扣3（略）。2．綜合性能情況（（略））（1）所提供產(chǎn)品性能參數(shù)優(yōu)于競爭性磋商文件中技術(shù)要求情況（磋商小組認(rèn)為超出指標(biāo)有意義的）（6（略））。其中優(yōu)于項(xiàng)，每處加2（略）。（2）所提供（略）場反饋情況（9（略））。根據(jù)所提供產(chǎn)品的品牌影響力、（略）場占有率（同行業(yè)為主）、現(xiàn)有用戶的反饋情況等綜合評定。（二）價(jià)格（略）（（略））1．基準(zhǔn)價(jià)：滿足競爭性磋商文件要求且價(jià)格最低的報(bào)價(jià)為基準(zhǔn)價(jià)，基準(zhǔn)價(jià)為滿（略）；2．其他供應(yīng)商的報(bào)價(jià)得（略）按照下列公式計(jì)算：報(bào)價(jià)得（略）＝（基準(zhǔn)價(jià)／報(bào)價(jià)）×（略）。（（略）（（略））1．綜合實(shí)力（3（略））根據(jù)供應(yīng)商綜合實(shí)力評定。2．售后服務(wù)與培訓(xùn)情況等（（略））（1）質(zhì)保期（3（略））。符合磋商文件要求的，得1（略），每增加一年質(zhì)保期加1（略）。（2）服務(wù)、技術(shù)支持與培訓(xùn)承諾情況（7（略））。根據(jù)磋商響應(yīng)文件（略）點(diǎn)設(shè)置情況、服務(wù)響應(yīng)時(shí)間、現(xiàn)有用戶對產(chǎn)品售后服務(wù)情況及服務(wù)水平的反饋等綜合評定。3．其它優(yōu)惠措施等（2（略））根據(jù)供應(yīng)商提供的在磋商文件要求范圍以外，磋商小組認(rèn)可的優(yōu)惠措施綜合評定。六、磋商響應(yīng)報(bào)價(jià)應(yīng)包括所報(bào)儀器設(shè)備費(fèi)、安裝調(diào)試費(fèi)、測試驗(yàn)收費(fèi)、培訓(xùn)費(fèi)、運(yùn)行維護(hù)費(fèi)、稅金（含美國產(chǎn)品被加征關(guān)稅）、國際國內(nèi)運(yùn)輸費(fèi)、保險(xiǎn)和其他為完成本項(xiàng)目所發(fā)生的一切費(fèi)用。七、供應(yīng)商資質(zhì)要求（一）具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任的能力；（二）具有良好的商業(yè)信譽(yù)和健全的財(cái)務(wù)會計(jì)制度；（三）具有履行合同所必需的設(shè)備和專業(yè)技術(shù)能力；（四）有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄；（五）近三年內(nèi)，在經(jīng)營活動中沒有重大違法記錄；（六）本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體報(bào)價(jià)。八、磋商響應(yīng)文件的組成（一）磋商響應(yīng)文件一般由下列材料組成（部（略）表格樣式見附件1），復(fù)印件須加蓋供應(yīng)商公章，所有材料須按序裝訂成冊：1.目錄（磋商響應(yīng)資料與頁碼對照表，原件）。2.磋商響應(yīng)函（原件）。3.響應(yīng)基本情況一覽表（原件）。4.詳細(xì)配置清單（原件）。5.技術(shù)規(guī)格偏離表（原件）。6.（略）業(yè)績、公司榮譽(yù)等，原件）。7.資格證明材料（1）營業(yè)執(zhí)照、稅務(wù)登記證以及組織機(jī)構(gòu)代碼證（復(fù)印件）。（2）法定代表人授權(quán)書（原件）。（3）法定代表人（略）明材料（如（略）、護(hù)照等）（復(fù)印件）。（4）法人授權(quán)代表（略）明材料（如（略）、護(hù)照等）及單位社保證明（復(fù)印件）。（5）供應(yīng)商最新的年度審計(jì)報(bào)告或財(cái)務(wù)報(bào)告（復(fù)印件）。（6）儀器設(shè)備生產(chǎn)或經(jīng)營企業(yè)許可證（復(fù)印件，特殊行業(yè)必須提供）。（7）儀器設(shè)備銷售代理授權(quán)證明（進(jìn)口貨物非生產(chǎn)制造廠商投標(biāo)的，須按第2.2條要求提供，專項(xiàng)授權(quán)書提供原件、代理證書提供復(fù)印件）。（8（略）出具的質(zhì)量體系認(rèn)證證書（例如：ISO、FDA、CE、3C等，國家強(qiáng)制要求的設(shè)備必須提供，復(fù)印件）。（9）近三年來與本次磋商儀器設(shè)備相同產(chǎn)品的用戶名單及聯(lián)系方式（以教學(xué)、科研用戶為主，原件）。8.服務(wù)措施、服務(wù)承諾（主要包括針對本項(xiàng)目的服務(wù)、培訓(xùn)方案及其他優(yōu)惠措施等）（原件）。9.供應(yīng)商認(rèn)為應(yīng)該提供的其他材料。（二）特別說明1.“磋商響應(yīng)文件”應(yīng)裝訂并密封，并加蓋投標(biāo)單位公章。2.正本一份，副本三份，如副本與正本有出入，以正本為準(zhǔn)；3.相關(guān)材料及填寫規(guī)范按照《蘇州大學(xué)招標(biāo)采購儀器設(shè)備投標(biāo)人須知》第三條“投標(biāo)文件”中的具體要求執(zhí)行。九、貨物交貨期、交貨地點(diǎn)、付款方式、安裝、調(diào)試、驗(yàn)收以及售后服（略）要求，參照《蘇州大學(xué)招標(biāo)采購儀器設(shè)備投標(biāo)人須知》第（略）條中的要求執(zhí)行。十、磋商文件價(jià)格：人民幣（略）（相關(guān)繳納事宜詳見附件3），售后不退。十一、供應(yīng)商在（略）前，須認(rèn)真閱讀《蘇州大學(xué)招標(biāo)采購儀器設(shè)備投標(biāo)人須知》和本磋商公告，完全了解并接受其所有條款及要求，并在（略）年（略）月（略）日（略）：（略）前將（略）函（略）響應(yīng)文件相關(guān)事宜：（一）順豐快遞（建議優(yōu)先采用）1.寄達(dá)時(shí)間：（略）年（略）月（略）日9：（略）前；2.收件人信息：　收件人：（略）系方式：（略）　收件地址：（略）1.（略）遞交時(shí)間：（略）年（略）月（略）日9：（略）～9：（略）.（略）遞交地址：（略）日9：（略）。十四、磋商時(shí)間：（略）年（略）月（略）日9：（略）。　　　　磋商性公告附件.zip（略）查看原文