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超高真空全自動常溫鍵合機 項目已具備招標條件， 招標項目資金已落實 。 招標代理機構(gòu)）受 （略）公司西安飛行自動控制研究所 （招標人）的委托， 對 該 項目進行國際公開招標采購。

1. 招標范圍

1.1 貨物名稱：超高真空全自動常溫鍵合機

1.2 招標編號： 0************A（略）

1.3項目概況：

超高真空全自動常溫鍵合機用于量子傳感、硅光、 MEMS 等芯片的晶圓級密封封裝工藝， 在超高真空環(huán)境中利用高速氬原子或離子轟擊晶圓，除去表面氧化膜及污染物，再施加一定壓力，使兩個表面在超高真空環(huán)境中緊密接觸，形成化學(xué)鍵，實現(xiàn)原子尺度上的牢固結(jié)合，在室溫下實現(xiàn)良好的鍵合，無需后續(xù)退火，消除熱膨脹系數(shù)不匹配造成的熱應(yīng)力問題； 更多指標詳見第八章技術(shù)規(guī)格。

關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)：

適用于 6 英寸晶圓，并可擴展至 （略） 英寸；

Mark 鍵合對準精度： ≤ ±2μm ；

鍵合模塊壓力：最大 （略）kN ；

更多技術(shù)指標詳見第八章。

1.4 數(shù)量：1臺。

1.5 交貨期：合同簽訂生效后（略）個月內(nèi)交貨。

1.6 （略）西安飛行自動控制研究所指定地點。

2. 對投標人的資格要求

2.1 投標人必須是響應(yīng)招標的法人或其他組織，具有獨立承擔(dān)民事責(zé)任能力。

2.2本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供制造商授權(quán)書。授權(quán)書包括制造商直（略）開具的（（略）的關(guān)系說明，并由雙方簽字或者蓋章）。

2.3本項目不接受聯(lián)合體投標。

2.4 投標人必須向招標代理機構(gòu)（略）并進行登記才具有投標資格。

3. 招標文件獲取

3.1凡有意參加投標者，請于（略）年（略）月（略）日至（略）年（略）月（略）日（略）時(北京時間)，（略）（http:（略）.com）（略）匯款底單和（略）,（略）不予受理。如有疑問，請致電（略）服務(wù)熱線（略）-（略）-（略）。

3.2 招標文件售價人民幣（略）或（略）美（略），售后款項不予退還。潛在投標人應(yīng)通過本鏈接:https:（略）.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=（略）招標文件費用，（略）后請自行提交電子發(fā)票申請(需再次進入鏈接（略）消費記錄后填寫開票信息)，電子發(fā)票將自動（略）至申請時所填（略）。潛在投標人將付款憑證（形式不限（略），經(jīng)招標人(代理機構(gòu))確認后，才能獲得招標文件的（略）權(quán)限。

3.3 投標人必須在（略），（略）與電子簽章，否則無法投標。（詳見（略）相關(guān)說明）。

4. 投標文件的遞交

4.1 投標文件遞交的截止時間（投標截止時間，下同）為 （略） （略） 年 （略） 月 （略） 日 9時（略） （北京時間） ，投標人應(yīng)在截止時間前通過 （略）（ http:（略）.com） （略） 加密的電子 版 投標文件，并在此時間前遞交單獨密封的紙質(zhì)版投標文件 （略） （略）號西安亞（略）會議室 。

4.2 逾期送達的投標文件，（略）將予以拒收。

4.3 投標人未按要求（略）加密電（略）無法獲取、解密投標人（略）的電子版投標文件，招標人不予受理。

5. 開標

開標時間同投標文件遞交的截止時間，開標 地點 同投標文件遞交地點。

6. 發(fā)布公告的媒介

本次招標公告同時在（略）、中國（略）和（略）上發(fā)布。

（略） . 聯(lián)系方式

（略）公司西安飛行自動控制研究所

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電話： （略）**********

招標（略）

地址：（略）pan>（略）

郵編： （略）

聯(lián)系人：（略）span>

電話： （略）**********

項目負責(zé)人：（略）pan>

電話： （略）**********、（略）**********

傳真： （略）**********

電子（略）：

（略）年（略）月（略）日