一、項(xiàng)目名稱：原子層沉積設(shè)備
二、項(xiàng)目編號：S（略）*****
三、采購人：（略）
地址：（略）***********
聯(lián)系人：（略） 電話：（略）********（略）聯(lián)系人：（略） 電話：（略）******（略）采購貨物品名、數(shù)量及主要性能參數(shù)要求
原子層沉積設(shè)備 1套
（一）技術(shù)要求
1.腔體：加熱采用外置加熱結(jié)構(gòu)，加熱部件在反應(yīng)腔體外側(cè)，反應(yīng)腔內(nèi)側(cè)無加熱機(jī)構(gòu)，反應(yīng)源不會以包括微觀擴(kuò)散在內(nèi)的任何方式接觸加熱器。
2.樣品臺和載板：適用于1片最大不超過直徑8英寸玻璃或硅片樣品鍍膜。
3.溫度：基片溫度上限不得超過（略）℃，SnO2反應(yīng)溫度不超過（略）℃，控制精度±1℃，可以在≤（略）℃的低溫下完成帶有機(jī)材料的超薄側(cè)壁生長工藝。
4.金屬源：3（略）可加熱直通源，配置高溫快速ALD閥（響應(yīng)時(shí)間＜（略）ms）、手動(dòng)閥、≥（略）ml不銹鋼源瓶，源（略）加熱溫度RT-（略）℃，控制精度±1℃。
5.氧源：1（略）常溫直通源，配置快速ALD閥（響應(yīng)時(shí)間＜（略）ms）、手動(dòng)閥、≥（略）ml不銹鋼源瓶。
6.預(yù)留1個(gè)金屬源接口、1個(gè)臭氧接口。
7（略）：2（略）N2，高精度質(zhì)量流量計(jì)控制，所有前驅(qū)（略）采用（略）L EP（略）+VCR密封，并具有（略）清洗功能。
8.（略）機(jī)本底真空＜0.（略）Torr，真空漏率＜5*（略）-7Pa·L/S。
9.（略）：腔室抽氣端（略）具有加熱功能，加熱溫度RT？（略）℃。
（略）.真空泵：機(jī)械泵一套，抽速≥（略）m3/h，真空泵前級配置熱阱，可以加熱至（略）℃，防止前驅(qū)體（略）內(nèi)冷凝。
（略）.真空計(jì)：全量程皮拉尼真空計(jì)1個(gè)+工藝薄膜真空計(jì)1個(gè)，測量范圍5*（略）-5Torr-大氣壓，精度滿量程的±1%；真空計(jì)前設(shè)有（略）以及氣動(dòng)隔膜閥。
（略）.高精度PLC+工控機(jī)+沉積自動(dòng)控（略）；圖像化的操（略）各部（略）運(yùn)行狀態(tài)，可方便的調(diào)節(jié)溫度、流量、脈沖時(shí)間等參數(shù)；多用戶權(quán)限（略）配，軟硬件互鎖，異常報(bào)警、緊急停機(jī)等功能確保安全性；沉積模式：連續(xù)模式、停流模式；人機(jī)界面：外掛式觸摸屏，可自由選擇懸停位置。
（略）.設(shè)備高度≤（略）mm，腔室周邊預(yù)留有和手套箱對接的法蘭和O圈接口，以便與手套箱（箱體到地面高度＞（略）mm）對接。對接方式：將ALD設(shè)備推入雙工位標(biāo)準(zhǔn)手套箱底部后，通過升降腳架將設(shè)備（略）體升高，至設(shè)備法蘭和和O圈與手套箱箱體底部法蘭開口對準(zhǔn)后，鎖定升降腳架，是得ALD設(shè)備和手套箱大腔能夠完成密封，ALD設(shè)備的反應(yīng)腔室蓋字能夠以上開蓋的形式開在手套箱內(nèi)部。
（二）測試要求
在不大于直徑8英寸尺寸的載板或樣品臺內(nèi)放置碎硅片作為測試片，供應(yīng)商提供工藝配方，沉積 （略） 循環(huán)氧化錫，膜厚非均勻性NU≤±2%為合格；非均勻性測試方法：樣品臺邊緣（略）mm以外放置至少（略）個(gè)測試片，（略）位置進(jìn)行膜厚測試。橢偏儀測試片內(nèi)膜厚最大值、最小值（略）別記為Tmax、Tmin；非均勻性NU=(Tmax-Tmin)/(Tmax+Tmin)。
（三）配置
設(shè)備至少需要包含以下配置：反應(yīng)腔體結(jié)構(gòu)1（略）1（略）1（略）1套。
（四）質(zhì)保期不少于（略）年。
五、評（略）標(biāo)準(zhǔn)
本次磋商采用綜合評（略）法，總（略）為（略），具體內(nèi)容如下：
（一）技術(shù)參數(shù)、配置及（略）體綜合性能（略）（（略））
1．技術(shù)參數(shù)及配置（（略））
以供應(yīng)商提供的能直接反映該產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)的彩頁或產(chǎn)品說明書等作為主要評判依據(jù)，其他情況由磋商小組根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行評判。
（1）所提供產(chǎn)品多項(xiàng)不滿足磋商公告要求（偏離），或參數(shù)偏離超出用戶教學(xué)、科研可接受范圍的，經(jīng)磋商小組評審可作為無效響應(yīng)文件。
（2）所提供產(chǎn)品不滿足磋商公告要求（偏離）、配置不詳、技術(shù)參數(shù)不明確、缺漏項(xiàng)的，每處扣2（略）。
2．綜合性能情況（（略））
（1）所提供產(chǎn)品性能參數(shù)優(yōu)于競爭性磋商文件中技術(shù)要求情況（磋商小組認(rèn)為超出指標(biāo)有意義的）（6（略））。其中優(yōu)于項(xiàng)，每處加2（略）。
（2）所提供（略）場反饋情況（9（略））。根據(jù)所提供產(chǎn)品的品牌影響力、（略）場占有率（同行業(yè)為主）、現(xiàn)有用戶的反饋情況、使用提供產(chǎn)品發(fā)表的學(xué)術(shù)論文情況等綜合評定。
（二）價(jià)格（略）（（略））
1．基準(zhǔn)價(jià)：滿足競爭性磋商文件要求且價(jià)格最低的報(bào)價(jià)為基準(zhǔn)價(jià)，基準(zhǔn)價(jià)為滿（略）。
2．其他供應(yīng)商的報(bào)價(jià)得（略）按照下列公式計(jì)算：報(bào)價(jià)得（略）＝（基準(zhǔn)價(jià)／報(bào)價(jià)）×（略）。
（（略）（（略））
1．綜合實(shí)力（2（略））
根據(jù)供應(yīng)商綜合實(shí)力評定。
2．售后服務(wù)與培訓(xùn)情況等（（略））
（1）質(zhì)保期（3（略））。符合磋商文件要求的，得1（略），每增加一年質(zhì)保期加1（略）。
（2）服務(wù)、技術(shù)支持與培訓(xùn)承諾情況（7（略））。
根據(jù)磋商響應(yīng)文件（略）點(diǎn)設(shè)置情況、服務(wù)響應(yīng)時(shí)間、現(xiàn)有用戶對產(chǎn)品售后服務(wù)情況及服務(wù)水平的反饋等綜合評定。
3．其它優(yōu)惠措施等（3（略））
根據(jù)供應(yīng)商提供的在磋商文件要求范圍以外，磋商小組認(rèn)可的優(yōu)惠措施綜合評定。
六、磋商響應(yīng)報(bào)價(jià)應(yīng)包括所報(bào)儀器設(shè)備費(fèi)、安裝調(diào)試費(fèi)、測試驗(yàn)收費(fèi)、培訓(xùn)費(fèi)、運(yùn)行維護(hù)費(fèi)、稅金(含美國產(chǎn)品被加征關(guān)稅)、國際國內(nèi)運(yùn)輸費(fèi)、保險(xiǎn)和其他為完成本項(xiàng)目所發(fā)生的一切費(fèi)用。
七、供應(yīng)商資質(zhì)要求
（一）具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任的能力；
（二）具有良好的商業(yè)信譽(yù)和健全的財(cái)務(wù)會計(jì)制度；
（三）具有履行合同所必需的設(shè)備和專業(yè)技術(shù)能力；
（四）有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄；
（五）近三年內(nèi)，在經(jīng)營活動(dòng)中沒有重大違法記錄；
（六）本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體報(bào)價(jià)。
八、磋商響應(yīng)文件的組成
（一）磋商響應(yīng)文件一般由下列材料組成（部（略）表格樣式見附件1），復(fù)印件須加蓋供應(yīng)商公章，所有材料須按序裝訂成冊：
1. 目錄（磋商響應(yīng)資料與頁碼對照表，原件）。
2. 磋商響應(yīng)函（原件）。
3. 響應(yīng)基本情況一覽表（原件）。
4. 詳細(xì)配置清單（原件）。
5. 技術(shù)規(guī)格偏離表（原件）。
6. （略）業(yè)績、公司榮譽(yù)等，原件）。
7. 資格證明材料
（1）營業(yè)執(zhí)照（復(fù)印件）。
（2）法定代表人授權(quán)書（原件）。
（3）法定代表人（略）明材料（如（略）、護(hù)照等）（復(fù)印件）。
（4）法人授權(quán)代表（略）明材料（授權(quán)代表投標(biāo)需提供，如（略）、護(hù)照等）及單位社保證明（復(fù)印件）。
（5）近三年內(nèi)在經(jīng)營活動(dòng)中沒有重大違法記錄承諾函（原件）。
（6）依法繳納稅收和社會保障資金的相關(guān)材料（復(fù)印件）。
（7）最近一年度審計(jì)報(bào)告或財(cái)務(wù)報(bào)表（復(fù)印件）。
（8）儀器設(shè)備生產(chǎn)或經(jīng)營企業(yè)許可證（如有，復(fù)印件，特殊行業(yè)必須提供）。
（9）儀器設(shè)備銷售代理授權(quán)證明（進(jìn)口貨物非生產(chǎn)制造廠商投標(biāo)的，須按第2.2條要求提供，專項(xiàng)授權(quán)書提供原件、代理證書提供復(fù)印件）。
（（略）出具的質(zhì)量體系認(rèn)證證書（如有，例如：ISO、FDA、CE、3C等，國家強(qiáng)制要求的設(shè)備必須提供，復(fù)印件）。
（（略））近三年來與本次磋商儀器設(shè)備相同產(chǎn)品的用戶名單及聯(lián)系方式（以教學(xué)、科研用戶為主，原件）。
8. 服務(wù)措施、服務(wù)承諾（主要包括針對本項(xiàng)目的服務(wù)、培訓(xùn)方案及其他優(yōu)惠措施等）（原件）。
9. 供應(yīng)商認(rèn)為應(yīng)該提供的其他材料。
（二）特別說明
1. “磋商響應(yīng)文件”應(yīng)裝訂并密封，并加蓋投標(biāo)單位公章。
2. 正本一份，副本三份，如副本與正本有出入，以正本為準(zhǔn)；
3. 相關(guān)材料及填寫規(guī)范按照《蘇州大學(xué)招標(biāo)采購儀器設(shè)備投標(biāo)人須知》第三條“投標(biāo)文件”中的具體要求執(zhí)行。
九、貨物交貨期、交貨地點(diǎn)、付款方式、安裝、調(diào)試、驗(yàn)收以及售后服（略）要求，參照《蘇州大學(xué)招標(biāo)采購儀器設(shè)備投標(biāo)人須知》第（略）條中的要求執(zhí)行。
十、磋商文件價(jià)格：人民幣（略）（相關(guān)繳納事宜詳見附件3），售后不退。
十一、（略）：供應(yīng)商在（略）前，須認(rèn)真閱讀《蘇州大學(xué)招標(biāo)采購儀器設(shè)備投標(biāo)人須知》和本磋商公告，完全了解并接受其所有條款及要求，并在（略）年（略）月（略）日（略）:（略）前將（略）函（格式見（略）十二、遞交磋商響應(yīng)文件相關(guān)事宜：
（一）順豐快遞郵寄方式（建議優(yōu)先采用）
1. 寄達(dá)時(shí)間：（略）年（略）月（略）日9:（略）前。
2. 收件人信息：
收件人：（略）p>
聯(lián)系方式：（略）*********
收件地址：（略）
1. 遞交時(shí)間：（略）年（略）月（略）日8：（略）～9：（略）
2. 遞交地址：（略）時(shí)間：（略）年（略）月（略）日9:（略）。
十四、磋商時(shí)間：（略）年（略）月（略）日9:（略）。
磋商性公告附件.zip
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