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招標代理公司（立即查看） 受業(yè)主單位（立即查看） 委托，于2025-11-01在采購與招標網(wǎng)發(fā)布 CVD設備招標公告。現(xiàn)邀請全國供應商參與投標，有意向的單位請及時聯(lián)系項目聯(lián)系人參與投標。 一、項目名稱：CVD設備二、項目編號：S（略）*****三、采購（略）能參數(shù)要求CVD設備1臺（一）主要技術參數(shù)及配置要求1.設備技術要求：設備所有（略）部件和各種儀表的計量單位應全部采用國際單位（SI）標準。2.工藝要求：工藝氣體主要包括HCl、H2及Ar等，應具備防腐蝕及防爆功能。3.內(nèi)置高溫反應器3.1有（略）尺寸：≥（略）mm×（略）mm（直徑×高）。3.2工作溫度范圍：（略）℃～（略）℃。3.3在（略）℃工作溫度范圍能連續(xù)工作。3.4最高溫度：（略）℃。3.5溫度均勻性：±5℃。3.6爐溫均勻性測試，校溫點為（略）℃、（略）℃、（略）℃。3.7泄漏率：≤0.5mbarh。3.8泄漏率檢測包括高溫反應器、三氯化鋁發(fā)生器、混合室及匯流排。3.9極限真空度：≤1mbar（0.（略）h內(nèi)）。3.（略）最大裝載量：≥（略）kg。3.（略）沉積速率：沉積速率：≥（略）μmh，（略）涂層厚度偏差≤（略）μm、外表面涂層厚度偏差≤（略）μm。4.高溫反應器4.1用于生成高溫高活性次氯化鋁反應物質(zhì)的密閉容器，在工件表面生成沉積涂層。包括抗高溫變形的罐體、帶冷卻水套的下法蘭、熱電偶、SAT及（略）、密封槽、安全鎖緊裝置等。4.2配置2套，采用lnconel（略）材質(zhì)、厚度不小于8mm鋼板卷制焊接罐體。4.3基于PLC及溫控模塊可實現(xiàn)高溫反應器內(nèi)部5（略）控溫，每個獨（略）應有控溫和超溫報警熱電偶，并設有TUS和SAT熱電偶接口（略）應高度集成。4.4設備可增加單獨真空泵用于工（略）涂層沉積。4.5內(nèi)置高溫反應器在工藝溫度時壓力在（略）mbar～（略）mbar范圍內(nèi)可調(diào)，可高效率低成本同時在（略）沉積涂層。5.外置低溫反應器：用于制備低活性三氯化鋁氣體和其他不少于3種活性（略）素。由工藝氣體管線（包括HCl、H2和Ar氣體）、（略）控溫的加熱模塊、氣體發(fā)生器等組成。6.石墨坩堝及組合件：石墨坩堝、隔圈及支撐件等承力部件采用高密度石墨制成；其余石墨組件（隔熱）采用輕質(zhì)、低密度石墨制成。7.鐘罩式加熱爐7.1用于對高溫反應器的加熱。7.2加熱速率：從室溫到（略）℃≤3h。7.3（略）：采用知名品牌工藝控制（略），5（略）獨立控溫，（略）設置獨立控溫模塊、測溫及報警熱電偶的快速連接裝置。7.4電阻絲：模塊化的知名品牌電阻絲。耐火材料：模塊化氧化鋁磚，密度≤（略）kgm3。總重量：≤3.8噸。爐體表面溫度：工作狀態(tài)下，爐體外表面溫度≤（略）℃。7.5變壓器：輸出電壓（略）V±5V。7.6具有防變形，抗熱疲勞和熱老化性能，結構便于更換。8.冷卻塔：由移（略）構成，具備抗高溫變形和防燙傷功能的雙層壁設計，可實現(xiàn)高溫反應器外壁的強制風冷。9（略）：（略），對低溫反應器、高溫反應器、冷阱、各類氣體匯流排、混合室及相關管線抽真空。與工藝控制（略）相匹配，實現(xiàn)邏輯互鎖。（略）.氣體流（略）.1基于模擬量的MFC，能精確控制H2、HCl及Ar等氣體流量，氣體流量、大小可數(shù)顯，精確可控。（略）.2設置手動閥及開關，實現(xiàn)緊急狀況下的手動操作。（略）：由冷水機、匯流排、傳感（略）組成?？杀O(jiān)測循環(huán)水水溫并報警。（略）：具備對易燃易爆、有毒及強腐蝕性尾氣的無害化處理裝置及功能，符合國家環(huán)保排放要求，產(chǎn)生的廢水收集后集中處理。（略）.1用于CVD設備工藝過程中主要可移動部件的定點吊裝及移動，具備自動循跡及定位功能。（略）.2（略）體承力框架：采用高強度合金熱軋或鍛造，具備抗彎曲、防變形功能。起升重量：≥1T。起升高度：≥2.8m（與設備吊裝高度相匹配）。起升速度：≥3.3mmin。吊裝和移動：水平運行距離≥7.4m（具體以CVD設備的實際尺寸為依據(jù)）。數(shù)量：1套，與設備結構相匹配，具備多工位拓展條件，并滿足采購人使用需求。（略）.3定位循跡：采用PLC及伺服電機，高精度齒（略），具備自動定位（四工位）及循跡功能，完成對CVD設備部件的自動定位、吊裝和移動。重復定位精度：±0.5mm。（略）.4（略）：預埋各類限位開關、傳感器，具備變速升降、移動、緊急停止及物理限位功能。（略）.氣（略）.1由氣體管線、各類閥、防泄漏探頭及氣瓶柜等組成，對各類氣體的壓力、流量及泄漏具有全自動監(jiān)控、顯示、超壓保護及安全邏輯互鎖功能。具備安全互鎖功（略）邏輯互鎖。（略）.2配置氯化氫（HCl）氣瓶柜，可實現(xiàn)一鍵式保壓、吹掃。（略）.3配置氫氣防爆間，按照《氫氣使用安全技術規(guī)程》進行執(zhí)行（GB（略）-（略））。（略）.4氣體管線設計制造具備GC2認證。（略）.5設置手動閥及開關，實現(xiàn)緊急狀況下的手動操作。（略）.1具備工藝參數(shù)編輯、存儲及打印等功能。提供氣相沉積滲鋁工藝模塊，并具備其余工藝模塊的拓展功能，同時提供與滲鋁技術相關的成套配置，并協(xié)助采（略）化應用。（略）.2實現(xiàn)對工藝程序的編輯、參數(shù)設置及顯示、運行狀態(tài)動態(tài)顯示及操作、故障報警顯示及記錄、數(shù)據(jù)記錄及歷史曲線、維護及說明頁面等。（略）.3對主要設備故障具有自診斷和（略）互聯(lián)互通，信息共享，實現(xiàn)工藝和安全的邏輯互鎖。如：與氣（略）之間邏輯互鎖，實現(xiàn)安全操作。（略）.4（略）及設備應具備高可靠性和連續(xù)工作的能力，自動化程度較高，操作界面簡潔，可實現(xiàn)異常信息的自動報警與邏輯互鎖。（略）.1采用PLC及配套的電器（略）件，可實現(xiàn)對鐘罩式加熱（略）域的電流進行調(diào)節(jié)控制。（略）.2配置1臺（略）.6寸觸摸屏，配置（略）寸彩色顯示器，以及1（略），1套鍵盤和鼠標、1個打印機、1個電腦桌、1臺UPS電源等組成。工控機CPU核心數(shù)量：≥8，內(nèi)存容量：≥（略）G，固態(tài)硬盤容量：≥1TB。工控機相關（略）均為長期永久授權，不得加密。（略）.3配置不低于Windows（略），以及國產(chǎn)工藝控制（略），可實現(xiàn)對設備各個部件、流量、開關、閥及傳感器數(shù)字信號的采集與編輯，設備運行狀態(tài)的監(jiān)控、調(diào)節(jié)，以及安全邏輯互鎖。（略）.4采用模塊化設計，操作界面簡潔實用，能夠精準顯示各個閥門、探頭及傳感器的運行狀態(tài)，以及邏輯互鎖的條件，并具備各類信息的自診斷及報警功能。（略）.其他要求（略）.1設備涉及易燃易爆及高腐蝕性氣體的閥、儀器儀表、各類傳感器及流量計等（略）器件應選用知名品牌產(chǎn)品。（略）.2工件支撐座采用高溫合金或更高耐熱材質(zhì)。（略）.3所有接觸工藝氣體及尾氣的（略）器件材料必須防腐蝕，采用電子級電拋光管材（（略）L-EP）材質(zhì)。采用自動焊接機器人焊接。（略）.4設備主體占地尺寸：≥7m×2.5m（長度×寬度）。（略）.5針對安全隱患部位，設置安全防護措施。（二）質(zhì)保期：自驗收合格之日起（略）年。（三）交貨期：合同生效后，（略）個月內(nèi)交貨。（四）報價要求：本次招標采用一次性報價。報價包含設備、配套輔機、配套（略）、易損件、配套環(huán)保設備以及設備地基施工、運輸、安裝、調(diào)試、培訓、稅費、保險等與本項目相關的全部費用，確保設備安裝后可以滿足安全、環(huán)保及生產(chǎn)運行要求。（五）履約保證金：中標單位須在簽訂合同（略）天內(nèi)繳納合同金額的5%作為履約保證金，驗收合格后穩(wěn)定運行一年且產(chǎn)品無質(zhì)量問題，無息退還。（六）安裝調(diào)試要求（略）安裝：（略）完成設備就位、水電（略）調(diào)試：進行全面的（略）、安全聯(lián)鎖等的功能測試和參數(shù)校準。（七）付款方式1.合同簽訂后，（略）合同總額（略）%的預付款；2.設備制造完成在（略）內(nèi)驗收合格后，（略）合同總額（略）%的預驗收款，供方發(fā)貨至需方指定地點；3.設備在需方指定地點安裝調(diào)試并通過驗收后，（略）合同總額（略）%的終驗收款；4.驗收合格后穩(wěn)定運行一年且產(chǎn)品無質(zhì)量問題，（略）合同總額（略）%的尾款。5.每次付款前，中標單位均須提供對應的等額增值稅專用發(fā)票。（八）驗收要求：按照招標公告要求、投標文件、采購合同約定的技術條款等指標進行驗收。（九）售后服務要求（略）服務：產(chǎn)生故障，需在2小時內(nèi)響應，（略）?。裕煹竭_（略）進行維修或更換故障部件。備件供應：質(zhì)保期內(nèi)應免費更換因質(zhì)量問題損壞的（略）部件。五、投標單位資質(zhì)要求（一）具有獨立承擔民事責任的能力；（二）具有良好的商業(yè)信譽和健全的財務會計制度；（三）具有履行合同所必需的設備和專業(yè)技術能力；（四）有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄；（五）近三年內(nèi)，在經(jīng)營活動中沒有重大違法記錄；（六）本項目不接受聯(lián)合體投標，不得轉(zhuǎn)包或（略）包。六、評（略）標準本次招標采用綜合評（略）法，總（略）為（略），具體內(nèi)容如下：（一）針對中小企業(yè)、殘疾人福利企業(yè)和監(jiān)獄（略）采購促進中小企業(yè)發(fā)展管理辦法》（財庫〔（略）〕（略）號）、（略）采購支持中小企業(yè)力度的通知》（蘇財購〔（略）〕（略）號（略）采購政策的通知》（（略）采購支持監(jiān)獄企業(yè)發(fā)展有關問題的通知》（財庫〔（略）〕（略）號）的有關規(guī)定，對于符合上述文件規(guī)定情形的小微企業(yè)、殘疾人福利性單位及監(jiān)獄企業(yè)報價給予（略）%的扣除，用扣除后的價格參與評審，如扣除后的價格為最低價的，則作為評標基準價，中標金額則以實際投標報價為準。殘疾人福利性單位屬于小型、微型企業(yè)的，不重復享受政策。小微企業(yè)提供《中小企業(yè)聲明函》；監(jiān)獄企業(yè)（略）級以上（略）、（略）（含新疆生產(chǎn)建設兵團）出具的屬于監(jiān)獄企業(yè)的證明文件；殘疾人福利性單位提供《殘疾人福利性單位聲明函》。注：①填報“中小企業(yè)聲明函”需嚴格按“工信部聯(lián)企業(yè)〔（略）〕（略）號通知中的《中小企業(yè)劃型標準規(guī)定》進行。②若供應商提供的聲明函或（略）監(jiān)管（略）采購促進中小企業(yè)發(fā)展管理辦法》（財庫〔（略）〕（略）號）及《中小企業(yè)劃型標準規(guī)定》（工信部聯(lián)企業(yè)〔（略）〕（略）號），本采購標的對應的中小企業(yè)劃（略）標準所屬行業(yè)（略）工業(yè)。（二）價格（略）（（略））1．評標基準價：滿足招標文件要求且投標價格最低的投標報價為評標基準價，評標基準價為滿（略）；2．其他投標供應商的投標報價得（略）按照下列公式計算：投標報價得（略）＝（評標基準價／投標報價）×（略）。（三）技術參數(shù)、配置及（略）體綜合性能（略）（（略））1．技術參數(shù)及配置（（略））以供應商提供的能直接反映該產(chǎn)品技術參數(shù)的技術支持資料（測試報告或產(chǎn)品說明書）等作為評標依據(jù)，其他情況由評標委員會根據(jù)實際情況進行評判。（1）所提供產(chǎn)品多項不滿足招標公告要求（偏離），或參數(shù)偏離超出用戶教學、科研可接受范圍的，經(jīng)評標委員會評審可作為無效響應文件。（2）所提供產(chǎn)品不滿足招標公告要求（偏離）、配置不詳、技術參數(shù)不明確、缺漏項的，每處扣2（略）。2．綜合性能情況（（略））（1）所提供產(chǎn)品性能參數(shù)優(yōu)于招標文件中技術條款要求情況（評標委員會認為超出指標有意義的）（3（略））。其中優(yōu)于項，每處加1（略）。（2）所提供（略）場反饋情況（7（略））。根據(jù)所投產(chǎn)品的品牌影響力、（略）場占有率（同行業(yè)為主）、現(xiàn)有用戶的反饋情況、使用投標產(chǎn)品發(fā)表的學術論文情況等綜合評定。（（略）（（略））1．綜合實力（2（略））根據(jù)投標人提供的能體現(xiàn)其綜合實力的證明材料進行評定。2．類似項目業(yè)績（（略））。投標人提供（略）年以來同類型設備銷售業(yè)績，每提供1項銷售業(yè)績得2（略），滿（略）。注：提供合同頁及蓋章頁。（其中合同復印件應至少（略）名稱及蓋章、合同簽訂或生效時間等，未按上述要求提供的業(yè)績證明均不予以認可）。3．售后服務與培訓情況等（（略）